Dispositivi micro e nano fotonici
Lo sviluppo di dispositivi nano-fotonici, parte dalla progettazione con tecniche di modellazione numerica FEM e si completa con la realizzazione degli stessi all’interno dei laboratori del CNOS. Ad esempio è possibile realizzare sensori sfruttando fenomeni di interazione luce-materia per innescare risonanze plasmoniche/fotoniche, o array di antenne planari a microonde. Tutto ciò grazie alla versatilità degli strumenti dell’infrastruttura, dalla litografia a fascio elettronico fino alle tecniche di rimozione chimica dei materiali, passando per tecniche di ablazione e polimerizzazione laser.
I processi offerti garantiscono:
- alta risoluzione e precisione nella realizzazione dei dispositivi
- alti rapporti di aspetto ottenibili
- basse contaminazioni